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賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司
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高溫退火爐

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退火爐是賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司主營產(chǎn)品之一,憑借可靠的質(zhì)量,穩(wěn)定的性能,合理的價格,深受好評,廠家足貨供應(yīng),請來此了解詳情,采購請聯(lián)系13401355060.
產(chǎn)品詳情

主要適用于SiC/GaN等各類器件的高溫退火活化工藝。

設(shè)備特點

◎ 型號:Activate 150

◎ 工藝溫度:1800℃~2050℃

◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?

◎ 工藝壓力:1*10-3mbar

◎ 晶圓尺寸:≤150mm

◎ 產(chǎn)能:25或50 片/批

◎ 正常UP Time:98%

◎全自動化系統(tǒng)和MES服務(wù)

產(chǎn)品優(yōu)勢

◎ 高溫退火活化工藝時間約4小時

◎ 工藝室具備DCE自清洗功能

◎ 良好的溫度均勻性和厚度均勻性

高溫退火爐
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退火爐是賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司主營產(chǎn)品之一,憑借可靠的質(zhì)量,穩(wěn)定的性能,合理的價格,深受好評,廠家足貨供應(yīng),請來此了解詳情,采購請聯(lián)系13401355060.
13401355060
產(chǎn)品詳情

主要適用于SiC/GaN等各類器件的高溫退火活化工藝。

設(shè)備特點

◎ 型號:Activate 150

◎ 工藝溫度:1800℃~2050℃

◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?

◎ 工藝壓力:1*10-3mbar

◎ 晶圓尺寸:≤150mm

◎ 產(chǎn)能:25或50 片/批

◎ 正常UP Time:98%

◎全自動化系統(tǒng)和MES服務(wù)

產(chǎn)品優(yōu)勢

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◎ 工藝室具備DCE自清洗功能

◎ 良好的溫度均勻性和厚度均勻性

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