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高溫氧化爐

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氧化爐是賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司主營產(chǎn)品之一,憑借可靠的質(zhì)量,穩(wěn)定的性能,合理的價格,深受好評,廠家足貨供應(yīng),請來此了解詳情,采購請聯(lián)系13401355060.
產(chǎn)品詳情

SiC與GaN晶圓氧化工藝設(shè)備,工藝時間短,生產(chǎn)效率高,具有出色的工藝性能。

設(shè)備特點

◎ 型號:OXIDE150

◎ 工藝溫度:1380℃~1500℃

◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?

◎ 工藝壓力:100mbr-Atmospher

◎ 晶圓尺寸:≤150mm

◎ 產(chǎn)能:25或50 片/批

◎ 正常UP Time:98%

◎ 全自動化系統(tǒng)和MES服務(wù)

產(chǎn)品優(yōu)勢

◎ 高溫氧化工芝時間短

◎ 工藝室縣備DCE自清洗功能

◎ 良好的溫度均勻性和厚度均勻性

高溫氧化爐
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氧化爐是賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司主營產(chǎn)品之一,憑借可靠的質(zhì)量,穩(wěn)定的性能,合理的價格,深受好評,廠家足貨供應(yīng),請來此了解詳情,采購請聯(lián)系13401355060.
13401355060
產(chǎn)品詳情

SiC與GaN晶圓氧化工藝設(shè)備,工藝時間短,生產(chǎn)效率高,具有出色的工藝性能。

設(shè)備特點

◎ 型號:OXIDE150

◎ 工藝溫度:1380℃~1500℃

◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?

◎ 工藝壓力:100mbr-Atmospher

◎ 晶圓尺寸:≤150mm

◎ 產(chǎn)能:25或50 片/批

◎ 正常UP Time:98%

◎ 全自動化系統(tǒng)和MES服務(wù)

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◎ 高溫氧化工芝時間短

◎ 工藝室縣備DCE自清洗功能

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