主要特點(diǎn)

◆產(chǎn)能:>25000pcs/h;4800~5280pcs/管(105*210mm)

◆管數(shù):6管

◆壓力控制:APC控制方式

◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機(jī)

◆通訊:Melsec,MES.I/O,SECS-II等

◆自動(dòng)化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動(dòng)化解決方案

工藝規(guī)范

◆方阻值:30~60Ω/cmsq

◆極限真空:≤20mbar

◆方阻均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間)

硬件規(guī)格

◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度:2800mm

◆溫區(qū)數(shù)量:6個(gè)溫區(qū)

◆最高溫度:950℃

◆溫度均勻性:800℃~950℃±0.5℃

◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳

◆槳的最大承重量:100kg

◆工藝腔和舟的材質(zhì):石英管&碳化硅舟托獨(dú)立磷源柜，便于更換源瓶

優(yōu)點(diǎn)

◆快速的工藝認(rèn)證，可以極高的提升生產(chǎn)

◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力

◆使用SiC槳使加載區(qū)穩(wěn)定，SiC舟托使用壽命更長(zhǎng)

◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本，良好的技術(shù)支持和服務(wù)，確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定使用