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賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司
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PE-CVD系統(tǒng)

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PE-CVD系統(tǒng)是賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司主營(yíng)產(chǎn)品之一,憑借可靠的質(zhì)量,穩(wěn)定的性能,合理的價(jià)格,深受好評(píng),廠家足貨供應(yīng),請(qǐng)來此了解詳情,采購請(qǐng)聯(lián)系13401355060.
產(chǎn)品詳情

工藝規(guī)范

◆繞鍍:<1mm

◆Poly均勻性(80-150nm):<4%(片內(nèi)/片間/批間)

◆成膜種類:SiNx,SiONx,POLY

硬件規(guī)格

◆溫區(qū)數(shù)量:6個(gè)溫區(qū)

◆最高溫度:650℃

◆溫度均勻性:300℃~650℃±1℃

◆晶圓裝載法:槳軟著陸

◆工藝腔的材質(zhì):石英

主要特點(diǎn)

◆產(chǎn)能:616~768pcs/管(雙舟)

◆管數(shù):6管

◆壓力控制:APC控制方式

◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機(jī)

◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自動(dòng)化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動(dòng)化解決方案

優(yōu)點(diǎn)

◆快速的工藝認(rèn)證,允許極高的生產(chǎn)提升

◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力

◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本,良好的技術(shù)支持和服務(wù),確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定使用

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13401355060
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工藝規(guī)范

◆繞鍍:<1mm

◆Poly均勻性(80-150nm):<4%(片內(nèi)/片間/批間)

◆成膜種類:SiNx,SiONx,POLY

硬件規(guī)格

◆溫區(qū)數(shù)量:6個(gè)溫區(qū)

◆最高溫度:650℃

◆溫度均勻性:300℃~650℃±1℃

◆晶圓裝載法:槳軟著陸

◆工藝腔的材質(zhì):石英

主要特點(diǎn)

◆產(chǎn)能:616~768pcs/管(雙舟)

◆管數(shù):6管

◆壓力控制:APC控制方式

◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機(jī)

◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自動(dòng)化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動(dòng)化解決方案

優(yōu)點(diǎn)

◆快速的工藝認(rèn)證,允許極高的生產(chǎn)提升

◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力

◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本,良好的技術(shù)支持和服務(wù),確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定使用

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