工藝規(guī)范
◆繞鍍:<1mm
◆Poly均勻性(80-150nm):<4%(片內(nèi)/片間/批間)
◆成膜種類:SiNx,SiONx,POLY
硬件規(guī)格
◆溫區(qū)數(shù)量:6個(gè)溫區(qū)
◆最高溫度:650℃
◆溫度均勻性:300℃~650℃±1℃
◆晶圓裝載法:槳軟著陸
◆工藝腔的材質(zhì):石英
主要特點(diǎn)
◆產(chǎn)能:616~768pcs/管(雙舟)
◆管數(shù):6管
◆壓力控制:APC控制方式
◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機(jī)
◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自動(dòng)化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動(dòng)化解決方案
優(yōu)點(diǎn)
◆快速的工藝認(rèn)證,允許極高的生產(chǎn)提升
◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力
◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本,良好的技術(shù)支持和服務(wù),確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定使用
工藝規(guī)范
◆繞鍍:<1mm
◆Poly均勻性(80-150nm):<4%(片內(nèi)/片間/批間)
◆成膜種類:SiNx,SiONx,POLY
硬件規(guī)格
◆溫區(qū)數(shù)量:6個(gè)溫區(qū)
◆最高溫度:650℃
◆溫度均勻性:300℃~650℃±1℃
◆晶圓裝載法:槳軟著陸
◆工藝腔的材質(zhì):石英
主要特點(diǎn)
◆產(chǎn)能:616~768pcs/管(雙舟)
◆管數(shù):6管
◆壓力控制:APC控制方式
◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機(jī)
◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自動(dòng)化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動(dòng)化解決方案
優(yōu)點(diǎn)
◆快速的工藝認(rèn)證,允許極高的生產(chǎn)提升
◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力
◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本,良好的技術(shù)支持和服務(wù),確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定使用
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