主要特點
◆產(chǎn)能:2200~2880pcs/管
◆管數(shù):6管
◆壓力控制:APC控制方式
◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機
◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自動化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動化解決方案
工藝規(guī)范
◆方阻值:50~350 Ω/cmsq
◆極限真空:≤20mbar
◆方阻均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間)
優(yōu)勢
◆快速的工藝認證,可以極高的提升生產(chǎn)
◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力
◆使用Sic槳使加載區(qū)穩(wěn)定
◆更大的正常運行時間和更低的成本,良好的技術支持和服務,確保設備長期穩(wěn)定使用
硬件規(guī)格
◆恒溫區(qū)長度:2800mm
◆溫區(qū)數(shù)量:6個溫區(qū)
◆最高溫度:1050℃
◆溫度均勻性:800℃~1050℃±0.5℃
◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳
◆槳的最大承重量:100kg
◆工藝腔和舟的材質(zhì):石英管&碳化硅舟托
主要特點
◆產(chǎn)能:2200~2880pcs/管
◆管數(shù):6管
◆壓力控制:APC控制方式
◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機
◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自動化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動化解決方案
工藝規(guī)范
◆方阻值:50~350 Ω/cmsq
◆極限真空:≤20mbar
◆方阻均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間)
優(yōu)勢
◆快速的工藝認證,可以極高的提升生產(chǎn)
◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力
◆使用Sic槳使加載區(qū)穩(wěn)定
◆更大的正常運行時間和更低的成本,良好的技術支持和服務,確保設備長期穩(wěn)定使用
硬件規(guī)格
◆恒溫區(qū)長度:2800mm
◆溫區(qū)數(shù)量:6個溫區(qū)
◆最高溫度:1050℃
◆溫度均勻性:800℃~1050℃±0.5℃
◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳
◆槳的最大承重量:100kg
◆工藝腔和舟的材質(zhì):石英管&碳化硅舟托
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