設(shè)備主要特點(diǎn)
◎ 串級(jí)控溫系統(tǒng),恒溫區(qū)高精度
◎ 具有高抗干擾能力
◎ 具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置
★支持SECS/GEM通訊
主要技術(shù)參數(shù)
◎ 可配工藝管數(shù)量:1~4管/臺(tái)
◎ 工作溫度范圍:200℃~800℃
◎ 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:300~11000mm
◎ 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性:±1℃/24h
◎ 最大可控升溫速度:15℃/min;
◎ 最大降溫速度:3℃/min
設(shè)備主要特點(diǎn)
◎ 串級(jí)控溫系統(tǒng),恒溫區(qū)高精度
◎ 具有高抗干擾能力
◎ 具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置
★支持SECS/GEM通訊
主要技術(shù)參數(shù)
◎ 可配工藝管數(shù)量:1~4管/臺(tái)
◎ 工作溫度范圍:200℃~800℃
◎ 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:300~11000mm
◎ 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性:±1℃/24h
◎ 最大可控升溫速度:15℃/min;
◎ 最大降溫速度:3℃/min
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